常用PVD涂層參數類型及單位

（1）維氏硬度：

用來描述PVD涂層的表面硬度，單位為HV，數值越高代表表面硬度越高。

（2）摩擦系數：

用來描述PVD涂層的表面粗糙程度，數值越低代表涂層表面越光滑。

（3）涂層厚度：

單位為μm。與涂層的性能（耐磨性、耐腐蝕性等）相關。

（4）適用工作溫度：

單位為℃，跟靶材的原料有關，限制擁有PVD涂層的工件的適用場合。

（5）涂層生成溫度：

單位為℃，跟靶材的原料有關，限制適用的基底材質類型。如果涂層生成溫度大于基底材質的熔點，則靶材與基底不匹配。

（6）內應力：

當沒有外力作用時，物體內部所存在的應力就是內應力，單位為（GPa）。PVD涂層中的內應力限制了涂層的厚度。如果內應力產生的單位體積彈性能超過單位面積斷裂能，涂層就會脫落。

（7）外觀顏色：

涂層應用冷卻后顯示出的顏色。